[ Vacuum Gate Valve ]

Process Chamber와 진공펌프 사이의 배관에 설치되어 펌프측 개폐 역할
세계최초의 In-Line Gate type Soft Start Pneumatic Valve
Powder & Particle Free type Soft Start Gate Valve

[ Plasma Cleaning System ]

반도체 및 LCD제조공정 중 발생하는 공정부산물(powders)의 효과적 제거
Particle 발생 감소 및 부대장치 보수유지비용 절감
기존시스템에 최소한의 장치를 추가하는 방식
PROCESS에 영향을 주지 않는 안전한 SYSTEM
적용개소 : Foreline & Vacuum Pump cleaning

[ RRG Ashing & Etching System ]

	Process Chamber 외부의 Remote Radical Generator로부터 High Power Source에 의한 고효율의 Radicals을 생성하여Chamber 내부로 공급하는 New Type의 Ashing Process
	생산성 향상 및 보수유지비용 절감 효과
	High ashing/etching rate, High throughput
	Refurbish & Retrofit for Etch & CVD process tools

[ Gas Supply System ]