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본 제품은 세계 최초의 In-line Gate Type의 Soft Start Valve로서 최신 자동화 FAB의 구축에 따른 고객의 요구에 발맞추어 개발된 제품이며, 국내 주요 반도체 300mm FAB에 사용되고 있음 (특허등록)
 
Model
TGVSA Series (DN100 / 125 / 160)
Leak Rate (Body, Valve Seat) < 1 x 10-9 mbar.liter/sec
Pressure Range 1 x 10-9 mbar to 1.6 bar
Differential Press at Opening ≤ 20 mbar
Lifetime (Cycles) > 100,000
Body Temperature ≤ 200 °C
Diff. Temperature (Body/Gate) ≤ 80 °C
Materials - Body SUS 304 (EP)
Materials - Cylinder & Piston SUS 304 / Aluminum
Valve Position Indicating LED display by magnet sensor
Operating Air 5-8 Kgf/㎠
Weight DN100 - 8KG, DN125 - 10KG, DN160 - 12KG
Field Installation Samsung & Hynix Semiconductors 300 mmFAB
Catalog & H/W dimensions
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