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TERA Technology

21C Technology Leader in Semiconductor, Display & Gas Equipment.

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반도체 디스플레이 제조장치 전문기업

20년 이상 업력과 노하우 그리고 도전정신

국내 주요 반도체 회사의 최신 300mm FAB 구축에 발맞추어 세계 최초의 Inline Gate Type의 Soft Start Auto Valve를 개발하여 국내 시장의 80% 이상을 점유하고 있으며, 꾸준한 연구개발을 통하여 향후 수요가 증대할 것으로 예상되는 Powder & Particle Free Type Valve를 개발하여 고객의 요구를 충족시킬 수 있도록 노력하고 있습니다.

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AUTO GATE VALVE, GAS SUPPLY SYSTEM에서

PLASMA 장치 사업으로 사업영역 확대

자사 고유의 PLASMA 응용기술을 이용하여 진공배관과 진공라인에 설치된 부대장치 및 진공펌프에 축적된 공정부산물을 효과적으로 세정 할 수 있는 Plasma 세정장치를 개발하여 판매하고 있으며, 또한 관련 기술을 이용한 식각장비 사업을 시작함으로서 장비업체로 거듭나기 위해 전 임직원이 하나되어 노력하고 있습니다.

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세계로 미래로!

지구 온난화 방지 Solutions

본사가 개발한 PLASMA 원천기술 기반으로 새로운 응용기술을 반도체 공정용에 적용하고 지구 온난화 가스를 분해하여 환경문제 해결하는 솔루션 제공

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OurPRODUCTS

(주)테라텍에서 개발된 다양한 제품을 소개합니다.

Auto Vacuum Gate Valves

Soft Start Valve
Manual Valve
Power Free Valve
Protection Valve

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Gas Furification System

Hydrogen Purification PSA System
PSA-Oxigen
Dryer
Gas Furifier

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Gas Supply System

Gas Cabinet
Valve Mainfold Box


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Remote Plasma Source

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