회사소개
연혁
현재
~2019
도약기
2015~2018
2018.12
환경용 플마즈마장치 100억 매출 달성
2017.06
환경용 플라즈마장치 SK하이닉스 납품
2017.05
본점 이전 (안성 대덕면 보동산업단지)
2016.05
환경용 플라즈마장치 삼성전자 납품
2015.07
안성공장 신축 이전
성장기
2007~2013
2013.12
환경용 플라즈마장치 개발
2012.10
5백만불 수출탑 수상
2012.06
가스장치 SK하이닉스에 신규 납품 시작
2009~2010
가스정제장치 LG이노텍 & 삼성LED 납품시작
진공밸브 중국 BOE(LCD 제조사)에 수출 시작
2008.03
플라즈마장치 개발 및 삼성/하이닉스 판매
2007.12
경기중소기업인상(기술상) 수상
2007.10
미국 SAS 수주 FRG
2007.08
대만 NEXPOWER 수주 GC. VMB/VMP FDB
2007.06
UMC12A Modify건 수주
2007.01
가스공급장치 대만 UMC(반도체 제조사) & Nex power(태양광)에 수출 시작
진공밸브 및 플라즈마장치 미국 삼성오스틴 & 중국 하이닉스에 납품
설립기
2001~2006
2006.10
Gas Purification System (Gas Purifier, PSA, Dryer) 장치 개발
Gas Supply System (Gas Cabinet, Valve Manifold Box) 장치 개발
2005.08
Powder & Particle Free Type Gate Valve 개발 (특허등록)
2005.04
2005 중소기업기술혁신개발사업(전략과제) 협약 체결
2005.03
ISO 9001:2000 / KS A 9001:2001 인증
2004.07
본사 및 공장 신사옥 준공 이전 (용인 흥덕아이티밸리)
2003.12
- 우수벤처기업인상 수상 (중소기업청)
- 중소기업기술혁신개발사업 수행/성공
2003.11
Soft Start Auto Gate Valve 개발 (특허등록)
(삼성전자 & 하이닉스 반도체 300mm FAB 설치)
2003.10
리모트 플라즈마 애싱장치 개발 (특허등록)
2003.08
벤처기업 확인 (신기술기업)
2003.03
진공배관 세정 장치 개발 (특허등록)
2002.08
리모트 플라즈마 Etching/Ashing 방법 개발 (특허등록)
2001.10
Vacuum Gate Valve 개발
(삼성전자 & 하이닉스반도체 FAB 설치)
2001.09.03
법인 설립
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