TERATECH

연혁

현재
~
2021

올해 매출 290억

2020
~
2011

작업중

2010
~
2001

작업중

미국 SAS 수주 FRG

대만 NEXPOWER 수주 GC. VMB/VMP FDB

대만 UMC 12A Modify건 수주

Gas Purification System (Gas Purifier, PSA, Dryer)
Gas Supply System (Gas Cabinet, Valve Manifold Box)

ISO 9001:2000 / KS A 9001:2001 인증

본사 및 공장 신사옥 준공 이전(공도)

우수벤처기업인상 수상(중소기업청)
중소기업기술혁신개발사업 수행/성공

Soft Start Auto Gate Valve 개발 (특허등록)
(삼성전자 & 하이닉스 반도체 300mm FAB 설치)

리모트 플라즈마 애싱장치 개발 (특허등록)

벤처기업 등록(신기술기업)

진공배관 세정 장치 개발 (특허등록)

리모트 플라즈마 Etching/Ashing 방법 개발 (특허등록)

Vacuum Gate Valve 개발
(삼성전자 & 하이닉스반도체 FAB 설치)

테라텍 창립