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자주묻는 질문
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35
특허증
슬라이드 방식의 진공 게이트 밸브
✕
34
특허증
진공 게이트 밸브에 적용되는 기밀유지장치
✕
33
특허증
진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치
✕
32
특허증
원격플라즈마 세정 장치 및 이를 이용한 세정방법
✕
31
특허증
고전압 융합 배기부 플라즈마 정화장치
✕
30
특허증
진공펌프와 배기부 세정 및 PFC 제거를 위한 유합형 플라즈마 정화장치
✕
29
특허증
진공시스템에서의 액체증기 정량 공급장치 및 이를 이용하는 방법
✕
28
특허증
고밀도 구속 플라즈마 소스 장치
✕
27
특허증
텐덤형 플라즈마소스를 이용한 과불화탄소 분해용 플라즈마 장치
✕
26
특허증
원격 라디칼 드라이 클리닝 장치 및 이를 이용한 클리닝 방법
✕
25
특허증
원격 플자즈마 발생기
✕
24
특허증
이종 플라즈마 다중 연결을 이용한 애슁 공정 장치 및 이를 이용한 애슁 방법
✕
23
특허증
이종 플라즈마 다중 연결을 이용한 플라즈마 공정 장치 및 이를 이용한 방법
✕
22
특허증
고밀도 구속 플라즈마 소스를 이용한 과불화탄소 및 유해 가스 분해 장치
✕
21
특허증
솔레노이드 밸브의 구동회로
✕
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