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특허증

Total 35건 2 페이지

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특허증
플라즈마 점화장치

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특허증
원격 플라즈마 발생장치를 이용한 웨이퍼 뒷면 건식 식각 방법

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특허증
원격 래디컬 방생기의 진단 장치 및 그 방법

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특허증
반도체 및 LCD 제조장치의 공정 반응 챔버의 배기부 및 진공펌프의 세정장치

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특허증
원격 플자즈마 발생장치를 이용한 웨이퍼 뒷면 건식 식각 방법

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특허증
무전원 시퀀스 제어장치 및 이를 이용한 가스 정제설비의 제어 시스템

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14

특허증
진공 라인용 개폐 밸브

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특허증
리모트 라디칼 발생장치를 이용한 배치형 애싱장치

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12

특허증
배치형 쿨 다운 챔버

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11

특허증
진공 게이트 밸브

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10

특허증
화학반응 챔버의 배기부 세정장치

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9

특허증
반도체 소자 제조방법

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8

특허증
진공 게이트밸브

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7

특허증
리모트 플라즈마를 이용하는 배치형 에싱 장치

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6

인증서
ISO 45001_2018_안전보건 경영시스템 인증서(2025)_영문

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