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특허증

Total 29건 1 페이지

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특허증
슬라이드 방식의 진공 게이트 밸브

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특허증
진공 게이트 밸브에 적용되는 기밀유지장치

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특허증
진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치

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특허증
원격플라즈마 세정 장치 및 이를 이용한 세정방법

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특허증
고전압 융합 배기부 플라즈마 정화장치

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특허증
진공펌프와 배기부 세정 및 PFC 제거를 위한 유합형 플라즈마 정화장치

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특허증
진공시스템에서의 액체증기 정량 공급장치 및 이를 이용하는 방법

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특허증
고밀도 구속 플라즈마 소스 장치

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특허증
텐덤형 플라즈마소스를 이용한 과불화탄소 분해용 플라즈마 장치

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특허증
원격 라디칼 드라이 클리닝 장치 및 이를 이용한 클리닝 방법

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특허증
원격 플자즈마 발생기

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특허증
이종 플라즈마 다중 연결을 이용한 애슁 공정 장치 및 이를 이용한 애슁 방법

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특허증
이종 플라즈마 다중 연결을 이용한 플라즈마 공정 장치 및 이를 이용한 방법

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특허증
고밀도 구속 플라즈마 소스를 이용한 과불화탄소 및 유해 가스 분해 장치

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특허증
솔레노이드 밸브의 구동회로

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