01

Vacuum Gate Valve

사업영역 소개

Soft Start Valve

최신 자동화 FAB의 구축에 따른 고객의 요구에 발맞추어 개발된 제품

국내 주요 반도체 300mm 및 LCD FAB에 사용되고 있음

Proctection Valve

세계 최초의 inline gate type의 soft start gate valve 개발

국내 최초의 sliding type의 powder & particle free valve 개발

기술영업 : 백기남 대표이사

Mail : knb@semitera.com

기술영업 : 김철식 상무이사

Mail : cskim@semitera.com

기술지원 : 신점철 상무이사

Mail : jcs@semitera.com

02

RPS Remote Plasma Source

사업영역 소개

Toroidal Plasm Source를 이용하여 고효율의 Radical을 생성, 목적하는 반응이 필요한 곳으로 이동시켜 화학적 반응만 유발

모재의 손상없이 흡착된 고체상 부산물 제거

Chemical Dry Etch 개념

기술영업 : 임병일 상무이사

Mail : bilim@semitera.com

기술지원 : 신점철 상무이사

Mail : jcs@semitera.com

03

PPS (Plasma Pre-Treatment System)

사업영역 소개

Process Chamber 와 펌프(Foreline) 사이의 고밀도 플라즈마를 이용한 가스분해 시스템

TCP(Transformer Coupled Plasma) Technology 기반의 고밀도 플라즈마 시스템

반도체 공정의 환경/안전문제 해결장치

기술영업 : 임병일 상무이사

Mail : bilim@semitera.com

기술지원 : 신점철 상무이사

Mail : jcs@semitera.com

04

Gas Purification System

사업영역 소개

가스 공급 장치

가스를 정량/정압으로 공급하는 제품

고도의 설계, 제조기술, 가격 경쟁력 요구

대용량 수요 증가

가스 정제 장치

공정용 가스를 고순도로 정제하여 공급하는 제품

2009년 하반기부터 국내 주요 LED제조사에 독보적 시장점유율 확보함

장기적으로 수소에너지시대의 근간 기본기술로도 응용

기술영업 : 김명모 이사

Mail : mmkim@semitera.com

기술지원 : 이승열 상무이사

Mail : sylee15@semitera.com